E16600 - SEMI E166 - 450 mmクラスタモジュール・インタフェースのための仕様：機械的インタフェースおよび搬送のスタンダード Revision:SEMI E166-0814 - Superseded SEMI C27-0118 (technical revision)

SEMI C27-0118 (technical revision)

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1-0819 — Specification for High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)

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Reliability

E16600 - SEMI E166 - 450 mmクラスタモジュール・インタフェースのための仕様：機械的インタフェースおよび搬送のスタンダード Revision:SEMI E166-0814 - Superseded SEMI C27-0118 (technical revision)SEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee2014617global Audits and Reviews Subcommittee20148www. semiviews. org www. semi. org20135 450 mm 450 mm Referenced SEMI Standards SEMI E21 Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard SEMI E21. 1 Cluster Tool Module Interface 300 mm: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port