P03100 - SEMI P31 - Practice for Catalog Publication for Chemical Amplified (CA) Photoresist Parameter Revision:SEMI P31-0304 - Superseded NOTICE: This Document was balloted

NOTICE: This Document was balloted and approved for withdrawal in 2011

本スタンダードは，ターボモレキュラーポンプ (TMP) タイプの真空ポンプに関する物理的および電気的インタフェースを規定する。ポンプのインタフェースを標準化することによって，ポンプに互換性を持たせることができる。デバイスメーカーはプロセス装置を調達する際，本文書を使用するが，それは，ポンプの互換性に要求されるインタフェースを装置サプライヤに対して指定するためである。半導体プロセス装置サプライヤも，ポンプサプライヤに対して標準化されたインタフェースを指定する目的で，本文書を使用する。

ガス相水分レベルは表面からの脱着によって支配されるので，この手順は，表面積の大きい部品，例えばパーティクルフィルタや管のような部品に最も役立つと予想される。湿潤表面積が非常に小さな部品は，その水分相互作用が小さすぎてこのテストでは測定できない場合がある。チェックバルブとリリーフバルブがテストできるのは，それらの操作パラメータがテスト条件と一致しているときだけである。

The use of in situ particle monitoring (ISPM

SEMI F66 — Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals

P03100 - SEMI P31 - Practice for Catalog Publication for Chemical Amplified (CA) Photoresist Parameter Revision:SEMI P31-0304 - Superseded NOTICE: This Document was ballotedThis Standard was technically approved by the Micropatterning Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on May 13, 2011. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in June 2011; originally published September 1997; previously published March 2004. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not